“光刻机的精度主要是受主体♯系统、底座、横移、减震等子系统的影响。万一这台设备的主体机械系统精度不够，我们的项🞊💟目还是没成功。”
说到最后，万宁古的眉毛全都皱了⚈起来。他对这🏍😰台光刻机主体系统的精度很担心，心里没有十足的把握。🀚
听到这话，许振鸣的心情也好不起来。“你们需要多长时间🛠🝱来准备？”念及🜴🆕此，许振鸣想要知道万宁古等人的总装和调试计划。
“三🃫🚳🗛天左右吧。”何昌林扫了一眼现场的情况，缓缓说道。
“三天恐怕不行，最少要五天时间。”
“最多五天时间🝘，🅫🈩许董。五天以后，我们🚍💄就能做流片试验了。”
万宁🃫🚳🗛古和郝宁等人的意见还不统一⚈，🁸💺一个说要三天多，一个说要五天时间。
看到🃫🚳🗛这种情况，许振鸣微微点了点头，“好，五天以后我再看你们的成果。”说完这些，他也没心思在这里等待着，拿着一摞报表资料就离开了👹🍮4号钢构大厂房。
五天后的上午九点左右，许振鸣再一次的来到这间光刻室，想要了解万宁古等人的项目进😃度情况。
这时候，车间里已经整理干净，一台组装好的光刻机矗立在🛠🝱车间的🕛正中央。
这台光刻机就是万宁古等人的劳动成果，主体系统全是一鸣集团公司自己制造🚍💋🐔的，激光光路系统是从此米国佬光刻上拆下来的样品。
“准备开机，先启动冷却循环水交换器系统。””万宁🟇🚿古此时拿着对讲机，给手下的团🛔队成员们下达命令。
看到许振鸣走来，他嘴角含笑的告诉许振鸣，“许董，这台国产光刻机我☦🁬们已经完成初步调试⛕，到目前为止还没有发现问题。”
万宁古告诉许振鸣，一天以前他们就已经完成光刻机的总装，第一次初步调试发现有问题，国产激光光源系统的散热有缺陷会🔖🀥⚢影响第第三代光刻机的性能。
“所以，我们临时增加一个循♯环水的冷却系统🃤🙲来给这台光刻机降降温⛱🞉💐。”万宁古笑了笑。
许振鸣不了解这些技术细节问题，只是对这台光刻机的成功时间节点感兴趣。“你们现在准备干吗？🗍🚖📗马上要调试了么，吗”他侧脸朝万宁古等人看了一眼。