“许振鸣是外行人,🕆😹能🜄⛎🙓知道这台光刻机的技术原理么?”
“锦上添💒👏🇷花没有雪中送炭来得划🀺🁳算,我还是等到最后再亮出底牌才🏰🝮好。”
犹豫半天,梁宋松还是忍住了,没把自己的判断和设想说🞬🗌出来。他转过脸去,开始安排自己小组的实🛃🙬🍛验流程工序。
这时。
郝宁教授的🂶📐小组成员已经进入状态,把激光能量测试仪、激光光谱分析仪、激🆓光头焦距测试仪等各种仪器调试好,随时可以进入测试状态。
见郝宁教授小组的准备工作已经就绪,梁宋松伸手捋了捋头上🕀🆣油光泽亮的头发,表情严肃的下令:“郝教授,🌦🁓🅗咱们开始试验,第一步是测试激光能量的衰减率。”
“开始试验!把能量测试仪调🍐整到自动调🁛🆠🐻节运行状态,每一个0.001毫米的高度测试一组数据。”郝宁扫了一眼梁宋松,随后就进入工作状态。
激光光路系统的能量测试难度非🀺🁳常大,空间高度每相差0.001毫米,激光在🁴空气中消耗的能量就会衰减一个数据级。而激光能量的最终值会影响到激光曝光的强度,影响到芯片光刻物理线路图的精度。
梁宋松之所以把这个测试项目放在第一步,也正是因为如此。但🌛⛛🛉他此时却😵🅬不慌不忙,好像🖩🕑🈹已经知道测试以后的数据一般。
“第一个节点数据正常,激光能量衰减度低🏏🙇于🅰0.009的数据级。”
“第二个节点🐍⚎数据也正常,能量衰减度低于🏏🙇0.0095的数据级🏰🝮。”
“第三个节点数据更漂亮……”
随着激光💒👏🇷能量测⚫🔔⛾试靶子的不断下降,工作站监视器上的数据在不断跳动着。郝宁等人看着数🗽♢据,嘴里也不自觉的说出测试数据的结果。
这些数据都在规定范围之内,表明🜅⛜这🇺🝤套米国佬生产的激光光路系统质量非常😊稳定。
“老米的产品质量的确非常好。”
“谁说不是呢。体积小功率大,噪🜅⛜音也小,功耗还🎲非常低。要是我们生产的激光光路系统能达到这种标准就好了。♲🌖⚮”